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特种气体的纯度越好,性能越好,那么如何提高纯度呢?影响特种气体纯度提高的因素有哪些?今天小编给大家讲讲。
特种气体提纯是制备工艺的技术壁垒。特种气体纯度的提高,能够有效提高电子器件生产的良率和性能。电子特气纯度提升的影响因素较多,难度较大。电子特气纯度提升的影响因素较多,主要包括三个方面:
1)气体的分离和提纯。
电子特气的分离和提纯方法原理上可分为精馏分离、分子筛吸附分离以及膜分离三大类,高纯氢气供应,在实际提纯分离过程中,为了达到更好的分离效率,往往会利用多种分离方法进行组合,工艺更为复杂。
2)气体杂质检测和监控。
随着电子特气的纯度越来越高,对分析检测方法和仪器提出了更高的要求,检测限从早的ppm级已经发展到ppt级。目前国外电子气体的分析己经经历了离线分析、在线分析(on-line),原位分析(insitu)等几个阶段。对于高纯度电子气体的分析,国外已开发出系统完整的分析测试方法和现场分析仪器。而由于我国电子特气行业一直重生产而轻检测,因此分析方法和分析仪器同国外厂商相比都比较落后。
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氢气供应小知识
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高纯氮气或其它可燃性气体钢瓶的房间应留意通风,以免漏出的氢气或可燃性气体与空气混合后。室内的照明灯及电气通风设备均应防爆。原则上有毒气体钢瓶应独自寄存,严防有毒气体逸出,留意室内通风。在寄存有毒气体钢瓶的室内设置毒气判定设备。若两种气体触摸后可能引起焚烧,这二种气体的钢瓶不能寄存在一起。如氧气瓶和瓶、氢气瓶和氧气瓶、氢气瓶。氧、压缩空气等助燃气体钢瓶严禁与物品放置在一起。气瓶寄存点通风,无腐蚀。
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高纯氮气的注意事项和处理措施
高纯氮气常在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。而在航天技术中,郑州氢气供应,也需要高纯氮做置换气体。
消防措施,危险特性:若遇高热,容器内压加大,有开裂和的危险。
有害燃烧产物:氮气。
灭火方法:本品不燃。尽可能将容器从火场移至空旷处。喷水保持火场容器冷掉,直至灭火结束用雾状水保持火场中容器冷掉。可用雾状水喷淋加速液氮蒸发,但不可使用水射至液氮。
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