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文水食用二氧化碳蚀刻气体
蚀刻是在没有光刻胶掩模的情况下，将加工表面蚀刻掉，如氧化硅膜、金属膜等。并保留光刻胶掩模区域，从而在衬底表面上获得所需的成像图案。蚀刻的基本要求是图案边缘整齐，线条清晰，图案变换差异小，对光刻胶膜及其掩膜面无损伤或底切。蚀刻方法包括湿化学蚀刻和干化学蚀刻。用于干蚀刻的气体称为蚀刻气体。
蚀刻气体通常是氟化物气体，例如四氟化碳、三氟化氮、六氟、和三氟。
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文水食用二氧化碳小知识
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高纯氮气或其它可燃性气体钢瓶的房间应留意通风，以免漏出的氢气或可燃性气体与空气混合后。室内的照明灯及电气通风设备均应防爆。原则上有毒气体钢瓶应独自寄存，严防有毒气体逸出，留意室内通风。在寄存有毒气体钢瓶的室内设置毒气判定设备。若两种气体触摸后可能引起焚烧，这二种气体的钢瓶不能寄存在一起。如氧气瓶和瓶、氢气瓶和氧气瓶、氢气瓶。氧、压缩空气等助燃气体钢瓶严禁与物品放置在一起。气瓶寄存点通风，无腐蚀。
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