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低温液态二氧化碳蚀刻气体
蚀刻是在没有光刻胶掩模的情况下,将加工表面蚀刻掉,如氧化硅膜、金属膜等。并保留光刻胶掩模区域,从而在衬底表面上获得所需的成像图案。蚀刻的基本要求是图案边缘整齐,低温液态二氧化碳公司,线条清晰,图案变换差异小,对光刻胶膜及其掩膜面无损伤或底切。蚀刻方法包括湿化学蚀刻和干化学蚀刻。用于干蚀刻的气体称为蚀刻气体。
蚀刻气体通常是氟化物气体,例如四氟化碳、三氟化氮、六氟、和三氟。
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低温液态二氧化碳小知识
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液氮罐需要清洗吗
1、未使用的液氮罐:没有使用过的液氮罐在出厂时可以直接使用无需清洗。因为发货之前生产厂家都会在液氮罐中充入液氮来测试罐子的真空密封性,测试通过后直接盖上劲赛,不会被其他脏污污染。如果是承装食品级的液氮,可以罐装少量液氮进行冲洗。
2、使用过的液氮罐:如果液氮罐使用过,暂时闲置不用时需要用清水进行冲洗,将水排干净,之后用鼓风机吹干,在常温下放置等待下次使用。因为液氮罐内的液氮挥发完后,所剩遗漏物质很快融化,变成液态物质,而附在内胆上。由于含有钾、钠、氯、钙、镁等离子,会对铝合金的内胆造成腐蚀,若形成枣一样的空洞,液氮罐就会报废,所以液氮罐内液氮耗尽后,低温液态二氧化碳,为了避免造成损坏,对罐子进行刷洗是十分必要的。
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氦气具有以下特性:
1、氦气在空气中的含量,只占约二十万分之一,易于发现;
2、氦分子小、质量轻、易扩散、比其它气体易穿越漏孔;
3、氦离子荷质比小,低温液态二氧化碳企业,易于进行质谱分析;
4、氦气是无毒、无味,对大气无污染。
5、氦气是惰性气体,化学性质稳定,不会腐蚀和损伤设备;
6、氦气无毒,不凝结,极难容于水。
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