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标准气体生产蚀刻气体
蚀刻是在没有光刻胶掩模的情况下，将加工表面蚀刻掉，如氧化硅膜、金属膜等。并保留光刻胶掩模区域，从而在衬底表面上获得所需的成像图案。蚀刻的基本要求是图案边缘整齐，线条清晰，图案变换差异小，对光刻胶膜及其掩膜面无损伤或底切。蚀刻方法包括湿化学蚀刻和干化学蚀刻。用于干蚀刻的气体称为蚀刻气体。
蚀刻气体通常是氟化物气体，瓶装标准气体生产，例如四氟化碳、三氟化氮、六氟、和三氟。
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标准气体生产小知识
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如果氧气瓶口沾上油脂，当氧气急速喷出时，油脂迅速发生氧化反应，文水标准气体生产，而且高压气流与瓶口摩擦产生的热量又进一步加速氧化反应的进行，沾染在氧气瓶或减压阀上的油脂就会引起燃烧甚至，高纯标准气体生产，这就是氧气瓶特别是瓶嘴及与氧气接触的附件严禁接触沾染油脂的原因。
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由于标准气体都要经过减压器和管线后才能通入被检仪器，要保持标准气体的准确性必须将减压器和管线进行充分置换。因此需要不断将钢瓶阀打开关闭反复3次以上，每次将减压器里的气体排尽，再吹扫系统后才能正确取样。
带压力表的减压器转换起来麻烦，如果说不会正确转换这种减压器，不但会浪费很多气体，而且会对分析造成很大误差，尤其对于微量氧、氮的分析。因此建议标准气体分析检测用的阀门采用不带减压器的针形微调阀门。
标准气体的使用有效期是根据稳定性实验结果来加以确定的， 一般把能够 标准值的有效期定为半年至一年。由于当标准气体的压力减小时， 被吸附在容器内壁上的各种成分气体便解吸， 其浓度值发生变化， 因此一般规定， 高压钢瓶标准气体的残压低于0.1 M Pa 时， 应停止使用。
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